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          射頻電源匹配器一體機

          KVMEN?  AGM系列全固態射頻電源匹配器一體機,采用目前技術最穩定可靠的功放和直流模塊,從而使產品提供極其穩定的射頻功率輸出,產品更堅固耐用。

          內部集成匹配器模塊,采用目前最先進的數字式網絡匹配平臺,自動匹配器以快速、精確和可重復的方式,將等離子體的復阻抗與您期望的調諧范圍進行匹配。與傳統模擬調諧方法相比,數字調諧算法和步進電機驅動可產生更快速,更精準和高重復的響應,始終都保持與負載的阻抗點相契合。

          元器件質量高而數量少,使產品的可靠性和設備生命周期最大化。LCD顯示屏既全面又直觀的操作菜單,可在設備的控制面板上直接使用,提供獨一無二的易操作性,提高操作者效率,最小化培訓成本。

          性能參數

          AGM-1303

          功率輸出范圍

          5W-300W

          最大反射功率

          100W

          功率穩定度

          ±0.1%

          諧波分量

          -50dbc

          供電電壓

          單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

          整機效率

          70%

          功率因素

          90%

          匹配器最大傳輸功率

          500w

          反射功率(最大功率時)

          <3w

          最大負荷電流

          30ARMS

          最大負荷電壓

          7500VRMS

          RF輸出連接器

          50 Ω, L29,或可定制

          匹配時間

          1~3s

          可匹配阻抗實部范圍

          0~80Ω

          可匹配阻抗虛部范圍

          200j~ 200j

          冷卻方式

          強制風冷

          整機重量

          19.5kg

          整機尺寸

          133 mm (H)×440 mm (W)×410 mm (D)


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