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          氣體質量流量控制器


          WARWICK?系列氣體質量流量控制器(MFC)產品是經過實踐驗證的適合多種應用場合的標準產品,流量精準度及性價比高,先進的傳感器和閥控技術,經過實地應用驗證的平臺組件以及高速的模擬/數字線路帶來最精準的氣體流量控制,可以滿足客戶在數值和功能上對于MFC的不同要求。適用于半導體,平板顯示,數據存儲,真空工業,ICP光譜設備及太陽能晶硅制程等不同行業。

          規格

          MC-AN600

          MC-AN601

          MC-AN602

          MC-AN610

          MC-AN611

          量程范圍

          單氣體 2-5000SCCM

          單氣體 5-50SLM

          單氣體   30-200SLM

          單氣體2-5000SCCM

          單氣體  5-50SLM

          閥門類型

          常開式或常閉式螺線管

          接頭

          1/4VCR1/4Swagelok

          密封

          橡膠

          金屬

          響應時間

          到達設定點±2%所需時間≤1SEC

          3SEC

          到達設定點±2%所需時間≤1SEC

          精確性

          ≤滿量程1%

          ≤滿量程2%

          ≤滿量程1%

          線性度

          ≤滿量程±0.5%

          ≤滿量程±1%

          ≤滿量程±0.5%

          重復性

          ≤滿量程±0.2%

          壓差

          7-40PSI

          21-40PSI

          7-40PSI

          漏率

          MAX:1X10ˉ7PA.M3/SECHE

          MAX:1X10ˉ11PA.M3/SECHE

          控制范圍

          滿量程的2-100%

          最高操作壓力

          50PSI

          承受壓力

          最大值150PSI

          通訊模式

          模擬0-5V/4-20MA

          輸入電壓

          +15VDC ±2% at 50MA         -15VDC ±2% at 150MA

          控制信號

          0-5VDC/4-20MA

          輸出模擬信號

          0-5VDC/4-20MA

          功耗

          3.1W

          3.5W

          3.1W

          溫度范圍

          5-45°

          材料

          316LSS,316SS,PTFE,KM45

          重量

          0.9KG

          2.2KG

          1.0KG

          1.2KG

           


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