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          自動匹配器

          KVMEN?  AM系列數字式自動匹配器,采用目前最先進的數字式網絡匹配平臺,利用我們成熟的專業技術力量,AM自動匹配器以快速、精確和可重復的方式,將等離子體的復阻抗與您期望的調諧范圍進行匹配。與傳統模擬調諧方法相比,數字調諧算法和步進電機驅動可產生更快速,更精準和高重復的響應,始終都保持與負載的阻抗點相契合。

          優勢

          功能

          ● 提高生產力、增加產量、降低生產成本
          ● 長期穩定的制程時間保證
          ● 易于安裝和操作
          ● 快速、精確和可重復的阻抗匹配
          ● 最佳的、可直接應用的功能,滿足多種應用領域需求
          ● 多功率和頻率范圍

          性能參數

          AM-1310

          AM-1315

          AM-1320

          頻率

          13.56MHz ±0.005%  27.12MHz\40.68MHz

          最大傳輸功率

          1000w

          1500W

          2000W

          反射功率(最大功率時)

          <3w

          <3w

          <5w

          最大負荷電流

          30ARMS

          30ARMS

          30ARMS

          最大負荷電壓

          7500VRMS

          7500VRMS

          7500VRMS

          傳輸效率

          >90%

          匹配時間

          1~3s

          主電容

          雙真空電容

          可匹配阻抗實部范圍

          0~80Ω

          可匹配阻抗虛部范圍

          -j200~~+j200

          RF輸出連接器

          50 Ω, L29,銅帶輸出,可自定制

          控制接口

          自動手動控制窗口

          冷卻方式

          風冷

          風冷

          風冷+水冷

          供電電壓

          單相交流(187V-253V 頻率50/60HZ

          重量

          7.5KG

          8KG

          尺寸

          430mmDx220mmWx130mmH)或可定制


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